1、送风至少经过三级过滤(粗效、中效和高效)，并且高效过滤器应设置在系统的末端。
2、洁净室应有足够的除尘和空调的送风量。
3、洁净室应维持必要的压力梯度(正压梯度或负压梯度)。
4、洁净室应有合理的气流组织。
